Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2011 > №65 > Вечерко Г.Ю., Стукалов А.Н., Шишлянников Б.М. Особенности проектирования полупроводниковых преобразователей давления

Вечерко Г.Ю., Стукалов А.Н., Шишлянников Б.М. Особенности проектирования полупроводниковых преобразователей давления

УДК 621.382
В е ч е р к о Г. Ю., С т у к а л о в А. Н., Ш и ш л я н н и к о в Б. М. Особенности проектирования полупроводниковых преобразователей давления // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Технические науки. 2011. № 65. С.13-17.
Рассмотрены подходы к проектированию элементов чувствительного модуля датчиков давления, технологические аспекты реализации того или иного топологического варианта. Показано, что наиболее простым способом температурной компенсации чувствительности является метод самокомпенсации.
Библиогр. 2 назв. Ил. 4.

Загрузить (549 КБ)