Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2011 > №65 > Селезнев Б.И., Ионов А.С., Петров А.В., Козловский Э.Ю., Тимофеев Г.О. Зондовые и оптические исследования микро- и наноструктур на основе арсенида галлия

Селезнев Б.И., Ионов А.С., Петров А.В., Козловский Э.Ю., Тимофеев Г.О. Зондовые и оптические исследования микро- и наноструктур на основе арсенида галлия

УДК 621.382.323
С е л е з н е в Б. И., И о н о в А. С., П е т р о в А. В.,
К о з л о в с к и й Э. Ю., Т и м о ф е е в Г. О. Зондовые и оптические исследования микро- и наноструктур на основе арсенида галлия // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Технические науки. 2011. № 65. С.31-36.
Рассмотрены особенности методов исследования полуизолирующего арсенида галлия, микро- и наноструктур на пластине: примесное поглощение, метод токов утечки при примесной подсветке, метод полевого фототранзистора с управлением по подложке, холловские измерения, эллипсометрия, зондовые измерения структур на пластине. Показана возможность контроля технологического цикла изготовления СВЧ микроэлектронных приборов на арсениде галлия с использованием комплекса зондовых и оптических методов исследования.
Библиогр. 5 назв. Ил. 8.

Загрузить (652 КБ)