Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2018 > 3 (109) Технические науки > Воропаев К.О., Селезнев Б.И., Ионов А.С., Прохоров А.Ю. Плазмохимическое травление распределенного брэгговского отражателя на основе гетероструктуры GaAs/AlGaAs

Воропаев К.О., Селезнев Б.И., Ионов А.С., Прохоров А.Ю. Плазмохимическое травление распределенного брэгговского отражателя на основе гетероструктуры GaAs/AlGaAs

УДК 621.373.8
В о р о п а е в К. О., С е л е з н е в Б. И., И о н о в А. С., П р о х о р о в А. Ю. Плазмохимическое травление распределенного брэгговского отражателя на основе гетероструктуры GaAs/AlGaAs // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Технические науки. 2018. № 3 (109). С.9–12. Библиогр. 15 назв.

К л ю ч е в ы е с л о в а: арсенид галлия, мезаструктура, плазмохимическое травление, сканирующая электронная микроскопия, вертикально-излучающий лазер

Проведено исследование технологии формирования мезаструктуры распределенного брэгговского отражателя, используемого в качестве верхнего зеркала в структуре вертикально-излучающего лазера. Травление осуществлялось методом плазмохимического травления в индуктивно связанной плазме с использованием хлорсодержащих компонентов. Описаны режимы травлений и приведены микрофотографии сформированных мезаструктур, полученные при помощи метода сканирующей электронной микроскопии.
-----------------------------------------------------------------------------
UDC 621.373.8
V o r o p a e v K. O., S e l e z n e v B. I., I o n o v A. S., P r o k h o r o v A. Iu. Plasma etching of distributed Bragg reflector based on GaAs/AlGaAs geterostructure // Vestnik NovSU. Issue: Engineering Sciences. 2018. № 3 (109). P.9–12. The reference list 15 items.

K e y w o r d s: gallium arsenide, mesastructure, plasma etching, scanning electron microscopy, vertical-cavity surface-emitting laser

This paper presents the research and comparison of the method for forming DBR mesastructures in vertical-cavity surface-emitting lasers. Plasma etching was performed in chlorine-containing plasma. There described the recipes of processes and are given the SEM microphotos of formed mesastructures.

Загрузить (2054 КБ)