Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2023 > №1 (130) Технические науки > Боченков Г. М., Федоров Д. Г., Желаннов А. В., Селезнев Б. И. Формирование межприборной изоляции в нитрид-галлиевых гетероструктурах на кремнии

Боченков Г. М., Федоров Д. Г., Желаннов А. В., Селезнев Б. И. Формирование межприборной изоляции в нитрид-галлиевых гетероструктурах на кремнии

Боченков Г. М., Федоров Д. Г., Желаннов А. В., Селезнев Б. И. Формирование межприборной изоляции в нитрид-галлиевых гетероструктурах на кремнии // Вестник НовГУ. 2023. 1(130). 22-33. DOI: 10.34680/2076-8052.2023.1(130).22-33

Bochenkov G. M., Fedorov D. G., Zhelannov A. V., Seleznev B. I. Formation of inter-device isolation in gallium nitride heterostructures on silicon // Vestnik NovSU. 2023. 1(130). 22-33. DOI: 10.34680/2076-8052.2023.1(130).22-33

Загрузить (497 КБ)