Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2013 > №75 Т.1 > Тимофеев Г.О., Драгуть М.В., Лукьянцев О.А. Формирование тестовых ячеек для контроля арсенид-галлиевых микроструктур на пластине

Тимофеев Г.О., Драгуть М.В., Лукьянцев О.А. Формирование тестовых ячеек для контроля арсенид-галлиевых микроструктур на пластине

УДК 621.382.323
Т и м о ф е е в Г. О., Д р а г у т ь М. В., Л у к ь я н ц е в О. А. Формирование тестовых ячеек для контроля арсенид-галлиевых микроструктур на пластине // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Технические науки. 2014. № 75. Т.1. С.39-43. Библиогр. 3 назв. Ил. 9.

К л ю ч е в ы е с л о в а: тестовая ячейка, арсенид-галлиевые микроструктуры, монолитная интегральная схема, зондовый контроль

Рассмотрены процессы формирования тестовой ячейки для зондовых и оптических методов контроля арсенид-галлиевых микроструктур на пластине. Проведено технологическое опробование сформированного тестового модуля, измерены основные параметры арсенид-галлиевых микроструктур в ходе технологического процесса изготовления монолитной интегральной схемы (МИС) на GaAs.
-----------------------------------------------------------------------------
UDC 621.382.323
T i m o f e e v G. О., D r a g u t’ М. V., L u k’ y a n t s e v О. А. Forming of test cells for probing of gallium arsenide microstructures on the wafer // Vestnik NovSU. Issue: Engineering sciences. 2014. № 75. V.1. P.39-43.The reference list 3 items, 9 fig.

K e y w o r d s: test cell, gallium arsenide microstructure, monolithic integrated circuit, probe testing

The processes of forming a test cell to probe and optical inspection methods GaAs microstructures on the wafer. Conducted sampling process generated test module, the main parameters measured GaAs microstructures during the process of manufacturing a monolithic integrated circuit (IIC) on GaAs.

Загрузить (3276 КБ)