Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2013 > №75 Т.1 > Орлов А.В., Кукушкин А.Е., Афиногенов И.А. Применение МЭМС технологий в практике разработки электростатических реле

Орлов А.В., Кукушкин А.Е., Афиногенов И.А. Применение МЭМС технологий в практике разработки электростатических реле

УДК 621.318.51
О р л о в А. В., К у к у ш к и н А. Е., А ф и н о г е н о в И. А. Применение МЭМС технологий в практике разработки электростатических реле // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Технические науки. 2014. № 75. Т.1. С.124-128. Библиогр. 4 назв. Ил. 9.

К л ю ч е в ы е с л о в а: электростатические реле; МЭМС; ВЧ реле; моделирование; гистерезис напряжения управления

Представлены работы в области микроэлектромеханических систем. Показаны принципы разработки и проектирования слаботочных и высокочастотных микрореле и микропереключателей.
-----------------------------------------------------------------------------
UDC 621.318.51
O r l o v А. V., K u k u s h k i n А. Е., A f i n o g e n o v I. А. Application of MEMS technology for designing electrostatic relays // Vestnik NovSU. Issue: Engineering sciences. 2014. № 75. V.1. P.124-128.The reference list 4 items, 9 fig.

K e y w o r d s: electrostatic relays; MEMS; high-frequency relay; modelling; control voltage hysteresis

This paper presents the working results on microelectromechanical systems. The authors show the principles of designing low-current, high-frequency, optical microrelays and microswitches.

Загрузить (2311 КБ)