Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2015 > №8 (91) > Павлов Д.В., Лукин К.Г., Петров М.Н. Разработка математической модели MEMS-акселерометра

Павлов Д.В., Лукин К.Г., Петров М.Н. Разработка математической модели MEMS-акселерометра

УДК 681.5.08
П а в л о в Д. В., Л у к и н К. Г., П е т р о в М. Н. Разработка математической модели MEMS-акселерометра // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Техничесие науки. 2015. № 8 (91). С.22–25. Библиогр. 4 назв.

К л ю ч е в ы е с л о в а: MEMS-акселерометр, математическая модель, передаточная функция, чувствительный элемент, выходной сигнал

Представлена методика разработки математической модели микромеханического (MEMS) акселерометра MMA7331L маятникого типа. На основании паспортных данных и экспериментальных измерений, полученных при комнатной температуре, разработана математическая модель MEMS-акселерометра, которая учитывает его динамические и статические свойства. Выполнена проверка адекватности разработанной модели путем сравнения параметров реального акселерометра и его модели.
-----------------------------------------------------------------------------
UDC 681.5.08
P a v l o v D. V., L u k i n K. G., P e t r o v M. N. Development of mathematical model of the MEMS accelerometer // Vestnik NovSU. Issue: Engineering Sciences. 2015. № 8 (91). P.22–25. The reference list 4 items.

K e y w o r d s: control in random environment, two-armed bandit problem, parallel processing

In this work, the technique for developing mathematical model of the micromechanical (MEMS) accelerometer MMA7331L of pendular type is presented. Based on the passport data and experimental measurements obtained at room temperature, a mathematical model of the MEMS accelerometer is developed. The model takes account of accelerometer’s dynamic and static properties. We carried out the developed model verification by comparing the parameters of real accelerometer and its model.

Загрузить (511 КБ)