Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2017 > 7 (105) > Воропаев К.О., Селезнев Б.И., Ионов А.С., Петров А.В. Полосковые оптические волноводы на основе тонких пленок Si3N4 с решеточными элементами ввода-вывода излучения

Воропаев К.О., Селезнев Б.И., Ионов А.С., Петров А.В. Полосковые оптические волноводы на основе тонких пленок Si3N4 с решеточными элементами ввода-вывода излучения

УДК 621.373.8
В о р о п а е в К. О., С е л е з н е в Б. И., И о н о в А. С., П е т р о в А. В. Полосковые оптические волноводы на основе тонких пленок Si3N4 с решеточными элементами ввода-вывода излучения // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Технические науки. 2017. № 7 (105). С.4–8. Библиогр. 7 назв.

К л ю ч е в ы е с л о в а: интегральная фотоника, полосковые волноводы, решеточный элемент связи, полное внутреннее отражение, нитрид кремния

Рассмотрены тонкопленочные полосковые оптические волноводы и решеточные элементы связи, применяемые для осуществления ввода и вывода излучения. Разработаны топология и технология получения волноводов на основе тонких пленок Si3N4. Изготовленные образцы полосковых волноводов исследованы методами сканирующей электронной и атомно-силовой микроскопии. Проведены оценки профиля и морфологии изготовленных волноводов.
-----------------------------------------------------------------------------
UDC 621.373.8
V o r o p a e v K. O., S e l e z n e v B. I., I o n o v A. S., P e t r o v A. V. Strip optical waveguides based on thin films of Si3N4 with lattice elements of the input-output radiation // Vestnik NovSU. Issue: Engineering Sciences. 2017. № 7 (105). P.4–8. The reference list 7 items.

K e y w o r d s: integrated photonics, strip waveguides, lattice coupling elements, total internal reflection, silicon nitride

This paper considers thin-film strip optical waveguides and the lattice coupling elements used to implement the input and output of radiation. The authors developed topology and technology for producing waveguides based on Si3N4 thin films. Manufactured samples of the strip waveguides were examined by scanning and atomic force microscopy. Assessment of profile and morphology of the fabricated waveguides is carried out.

Загрузить (1464 КБ)