Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2005 > № 30 > Стукалов А.Н., Шишлянников Б.М. Моделирование топологических вариантов кремниевых преобразователей давления на плоскости (110)

Стукалов А.Н., Шишлянников Б.М. Моделирование топологических вариантов кремниевых преобразователей давления на плоскости (110)

УДК 621.382
С т у к а л о в А. Н., Ш и ш л я н н и к о в Б. М. Моделирование топологических вариантов кремниевых преобразователей давления на плоскости (110) // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Техн. науки. 2005. № 30, стр. 110-116
Рассматривается возможность создания топологических вариантов полупроводниковых преобразователей давления на плоскости (110) для мембран не круглой формы. Получены данные по чувствительности различных топологических вариантов. Предложен набор топологических вариантов, обладающих наиболее высокой чувствительностью.
Библиогр. 4 назв. Ил.8.

Загрузить (387 КБ)