Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2004 > № 26 > Штейнгарт А.П. Применение метода поверхностной фото-ЭДС для анализа процессов химической обработки арсенида галлия

Штейнгарт А.П. Применение метода поверхностной фото-ЭДС для анализа процессов химической обработки арсенида галлия

УДК 621.382.323
Ш т е й н г а р т А. П. Применение метода поверхностной фото-ЭДС для анализа процессов химической обработки арсенида галлия // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Техн. науки. 2004. № 26, стр. 173-174
Исследуется возможность применения метода поверхностной фото-ЭДС для анализа процессов химической обработки поверхности арсе-нида галлия, используемых в технологическом цикле создания полевых транзисторов с барьером Шотки. Показано, что этот метод может быть использован для оценки процессов стабилизации поверхности арсенида галлия.
Библиогр. 1 назв. Ил. 1.

Загрузить (217 КБ)