Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2010 > №60 > Растегаев В.П. Анизотропия легирования и политипизм кристаллов карбида кремния

Растегаев В.П. Анизотропия легирования и политипизм кристаллов карбида кремния

УДК 538.911
Р а с т е г а е в В. П. Анизотропия легирования и политипизм кристаллов карбида кремния // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Технические науки. 2010. № 60. С.98-100.
Статья посвящена рассмотрению явления, способного проявляться в кристаллических веществах, у которых имеется набор политипов при наличии полярных кристаллографических осей. Речь идет о связи политипной структуры и уровня легирования выращиваемых монокристаллов. Явление рассматривается на примере карбида кремния, легированного алюминием.
Библиогр. 4 назв. Табл.2. Ил. 1.

Загрузить (395 КБ)